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Neuroprostheses were developed for a variety of applications using unique microfabrication methods. A technology platform that enables novel microelectrode array designs and microfluidic channels is described. Experiments demonstrating the in vivo utility and unique capabilities of these neuroprostheses were performed. Despite their demonstrated effectiveness, the long term use of microscale neuroprosthetic devices is compromised by the post-implantation tissue reaction which forms around the device. This tissue reaction consists of glial cells on the same size scale as microelectrodes and microfluidic channels. In order to quantify the tissue reaction a new analytical method using Electrical Impedance Spectroscopy was developed called Peak Resistance Frequency analysis. A lumped parameter model describing the microelectrode-tissue int...
Ce travail présente des techniques de structuration de type W-LIGA (Lithographie, Galvanisierung und Abformung) basées sur l'utilisation de deux photorésists épais qui sont un film sec de la famille Riston® de DuPont et la nouvelle résine SU-8 développée originellement par LBM. Les procédés relatifs à la structuration de ces deux photorésists et des réalisations pratiques sont également présentés. La résolution minimale des films Riston® a été déterminée à 30 µm pour des lignes ou des tranchées, et à 40 µm pour des cavités isolées dans un film de 50 µm d'épaisseur. Une technique pour la structuration de micromoules multi-niveaux a été mise au point. La verticalité des flancs (85.5° à 87.5°) a été mesurée sur des épaisseurs de 25 à 100 µm. La résine SU-8 récemment commercialisée a fait l'objet d'une étude afin d'établir les étapes du pr...
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